輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハ表面異物欠陥計測法に関する研究 Study on measurement of particulate defects for patterned wafers using annular evanescent light illumination

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Author

    • 吉岡, 淑江 ヨシオカ, トシエ

Bibliographic Information

Title

輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハ表面異物欠陥計測法に関する研究

Other Title

Study on measurement of particulate defects for patterned wafers using annular evanescent light illumination

Author

吉岡, 淑江

Author(Another name)

ヨシオカ, トシエ

University

大阪大学

Types of degree

博士 (工学)

Grant ID

甲第11894号

Degree year

2007-03-23

Note and Description

博士論文

1access

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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000372654
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000373819
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000008538042
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE

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