高周波自動整合器の開発とプラズマプロセッシングへの応用
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著者
書誌事項
- タイトル
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高周波自動整合器の開発とプラズマプロセッシングへの応用
- 著者名
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吉迫, 裕司
- 著者別名
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ヨシザコ, ユウジ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第11904号
- 学位授与年月日
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2007-03-23
注記・抄録
博士論文
高周波自動整合器の開発とプラズマプロセッシングへの応用
吉迫, 裕司
ヨシザコ, ユウジ
大阪大学
博士 (工学)
甲第11904号
2007-03-23
博士論文