反応性マグネトロンスパッタによる非晶質薄膜堆積過程の数値解析

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著者

    • 田口, 雅文 タグチ, マサフミ

書誌事項

タイトル

反応性マグネトロンスパッタによる非晶質薄膜堆積過程の数値解析

著者名

田口, 雅文

著者別名

タグチ, マサフミ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第11910号

学位授与年月日

2007-03-23

注記・抄録

博士論文

14401甲第11910号

博士(工学)

大阪大学

2007-03-23

21189

0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000372743
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000373908
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000008538224
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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