ディスプレイ用酸化インジウム系導電膜の低抵抗化と形態制御に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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ディスプレイ用酸化インジウム系導電膜の低抵抗化と形態制御に関する研究
- 著者名
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高木, 悟
- 著者別名
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タカキ, サトル
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第11913号
- 学位授与年月日
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2007-03-23
注記・抄録
博士論文
ディスプレイ用酸化インジウム系導電膜の低抵抗化と形態制御に関する研究
高木, 悟
タカキ, サトル
大阪大学
博士 (工学)
甲第11913号
2007-03-23
博士論文