電子サイクロトロン共鳴の高効率化に基づく先進プロセス用プラズマ源開発
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著者
書誌事項
- タイトル
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電子サイクロトロン共鳴の高効率化に基づく先進プロセス用プラズマ源開発
- 著者名
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浅地, 豊久
- 著者別名
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アサジ, トヨヒサ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第11917号
- 学位授与年月日
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2007-03-23
注記・抄録
博士論文
電子サイクロトロン共鳴の高効率化に基づく先進プロセス用プラズマ源開発
浅地, 豊久
アサジ, トヨヒサ
大阪大学
博士 (工学)
甲第11917号
2007-03-23
博士論文