電子サイクロトロン共鳴の高効率化に基づく先進プロセス用プラズマ源開発

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Author

    • 浅地, 豊久 アサジ, トヨヒサ

Bibliographic Information

Title

電子サイクロトロン共鳴の高効率化に基づく先進プロセス用プラズマ源開発

Author

浅地, 豊久

Author(Another name)

アサジ, トヨヒサ

University

大阪大学

Types of degree

博士 (工学)

Grant ID

甲第11917号

Degree year

2007-03-23

Note and Description

博士論文

3access

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Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000372775
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000373940
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 000008538261
  • Source
    • Institutional Repository
    • NDL ONLINE

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