電子ビーム誘起堆積法による微小電子源の開発研究

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著者

    • 村上, 勝久 ムラカミ, カツヒサ

書誌事項

タイトル

電子ビーム誘起堆積法による微小電子源の開発研究

著者名

村上, 勝久

著者別名

ムラカミ, カツヒサ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第11983号

学位授与年月日

2007-03-23

注記・抄録

博士論文

14401甲第11983号

博士(工学)

大阪大学

2007-03-23

21262

13アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000372807
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000373972
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000008538302
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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