数値制御プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による水晶ウエハの超高精度加工に関する研究

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著者

    • 柴原, 正文 シバハラ, マサフミ

書誌事項

タイトル

数値制御プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による水晶ウエハの超高精度加工に関する研究

著者名

柴原, 正文

著者別名

シバハラ, マサフミ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第9298号

学位授与年月日

2007-03-23

注記・抄録

博士論文

14401乙第09298号

博士(工学)

大阪大学

2007-03-23

21441

0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000373046
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000374212
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000008538640
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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