ミストCVD法とその酸化亜鉛薄膜成長への応用に関する研究 ミスト CVDホウ ト ソノ サンカ アエン ハクマク セイチョウ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
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著者
書誌事項
- タイトル
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ミストCVD法とその酸化亜鉛薄膜成長への応用に関する研究
- タイトル別名
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ミスト CVDホウ ト ソノ サンカ アエン ハクマク セイチョウ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者名
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川原村, 敏幸
- 著者別名
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カワハラムラ, トシユキ
- 学位授与大学
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京都大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第13825号
- 学位授与年月日
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2008-03-24
注記・抄録
博士論文
