Characterization of semiconductor devices and thin dielectric films by scanning capacitance microscopy with self-sensing conductive probe 自己検出型導電性プローブを用いた走査型容量顕微鏡による半導体デバイスおよび薄膜誘電体材料の局所電気特性評価に関する研究

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著者

    • 内藤, 裕一 ナイトウ, ユウイチ

書誌事項

タイトル

Characterization of semiconductor devices and thin dielectric films by scanning capacitance microscopy with self-sensing conductive probe

タイトル別名

自己検出型導電性プローブを用いた走査型容量顕微鏡による半導体デバイスおよび薄膜誘電体材料の局所電気特性評価に関する研究

著者名

内藤, 裕一

著者別名

ナイトウ, ユウイチ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第12588号

学位授与年月日

2008-03-25

注記・抄録

博士論文

14401甲第12588号

博士(工学)

大阪大学

2008-03-25

21985

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000436866
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000438190
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 000009403055
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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