Structural characterization of microelectronic devices by Raman and cathodoluminescence spectroscopies ラマン分光法及びカソードルミネッセンス分光法による微小電子デバイスの構造評価

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著者

    • 松田, 景子 マツダ, ケイコ

書誌事項

タイトル

Structural characterization of microelectronic devices by Raman and cathodoluminescence spectroscopies

タイトル別名

ラマン分光法及びカソードルミネッセンス分光法による微小電子デバイスの構造評価

著者名

松田, 景子

著者別名

マツダ, ケイコ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第12700号

学位授与年月日

2008-03-25

注記・抄録

博士論文

14401甲第12700号

博士(工学)

大阪大学

2008-03-25

22097

2アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000436983
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000438308
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 000009403414
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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