Structural characterization of microelectronic devices by Raman and cathodoluminescence spectroscopies ラマン分光法及びカソードルミネッセンス分光法による微小電子デバイスの構造評価
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著者
書誌事項
- タイトル
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Structural characterization of microelectronic devices by Raman and cathodoluminescence spectroscopies
- タイトル別名
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ラマン分光法及びカソードルミネッセンス分光法による微小電子デバイスの構造評価
- 著者名
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松田, 景子
- 著者別名
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マツダ, ケイコ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第12700号
- 学位授与年月日
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2008-03-25
注記・抄録
博士論文
