Construction of resist polymers with radiation-scissile groups at predetermined sites 定められた位置に放射線切断基を有するレジスト用高分子の構築
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著者
書誌事項
- タイトル
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Construction of resist polymers with radiation-scissile groups at predetermined sites
- タイトル別名
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定められた位置に放射線切断基を有するレジスト用高分子の構築
- 著者名
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清水, 享
- 著者別名
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シミズ, タカシ
- 学位授与大学
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北海道大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第8577号
- 学位授与年月日
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2008-03-25
注記・抄録
博士論文