減圧沸騰噴霧の適用によるCVD新気化供給法の構築 ゲンアツ フットウ フンム ノ テキヨウ ニヨル CVD シン キカ キョウキュウホウ ノ コウチク
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著者
書誌事項
- タイトル
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減圧沸騰噴霧の適用によるCVD新気化供給法の構築
- タイトル別名
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ゲンアツ フットウ フンム ノ テキヨウ ニヨル CVD シン キカ キョウキュウホウ ノ コウチク
- 著者名
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大嶋, 元啓
- 著者別名
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オオシマ, モトヒロ
- 学位授与大学
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同志社大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第352号
- 学位授与年月日
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2008-03-22
注記・抄録
博士論文
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