減圧沸騰噴霧の適用によるCVD新気化供給法の構築 ゲンアツ フットウ フンム ノ テキヨウ ニヨル CVD シン キカ キョウキュウホウ ノ コウチク

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著者

    • 大嶋, 元啓 オオシマ, モトヒロ

書誌事項

タイトル

減圧沸騰噴霧の適用によるCVD新気化供給法の構築

タイトル別名

ゲンアツ フットウ フンム ノ テキヨウ ニヨル CVD シン キカ キョウキュウホウ ノ コウチク

著者名

大嶋, 元啓

著者別名

オオシマ, モトヒロ

学位授与大学

同志社大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第352号

学位授与年月日

2008-03-22

注記・抄録

博士論文

6アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000438347
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000439677
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000009423468
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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