30kV電子線描画による20nm×20nmピッチドット列描画と微小磁気ドット列形成及びXMCDによる磁気ドット評価

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著者

    • Zulfakri bin Mohamad ズルファクリ ビン モハマド

書誌事項

タイトル

30kV電子線描画による20nm×20nmピッチドット列描画と微小磁気ドット列形成及びXMCDによる磁気ドット評価

著者名

Zulfakri bin Mohamad

著者別名

ズルファクリ ビン モハマド

学位授与大学

群馬大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

工博甲第344号

学位授与年月日

2008-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000439256
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000440595
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000009439752
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
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