半導体露光装置用ステージ変位センサに関する研究 : ねじ駆動ステージ制御の最適化と高安定度エンコーダの開発 A study on the stage positioning sensor for semiconductor exposure machine

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著者

    • 牧野内, 進 マキノウチ, ススム

書誌事項

タイトル

半導体露光装置用ステージ変位センサに関する研究 : ねじ駆動ステージ制御の最適化と高安定度エンコーダの開発

タイトル別名

A study on the stage positioning sensor for semiconductor exposure machine

著者名

牧野内, 進

著者別名

マキノウチ, ススム

学位授与大学

東京農工大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第738号

学位授与年月日

2011-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000545837
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000547913
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 000011295511
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL-OPAC
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