超小型温度センサのMEMSへの応用に関する研究
Search this Article
Author
Bibliographic Information
- Title
-
超小型温度センサのMEMSへの応用に関する研究
- Author
-
高嶋, 徳明
- Author(Another name)
-
タカシマ, ノリアキ
- University
-
東北学院大学
- Types of degree
-
博士 (工学)
- Grant ID
-
甲第75号
- Degree year
-
2011-03-24
Note and Description
博士論文
