One-step patterning utilizing directed self-assembly of POSS containing block copolymers POSS含有ブロック共重合体の自己組織化を利用したワンステップパターン形成

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著者

    • 平井, 智康 ヒライ, トモヤス

書誌事項

タイトル

One-step patterning utilizing directed self-assembly of POSS containing block copolymers

タイトル別名

POSS含有ブロック共重合体の自己組織化を利用したワンステップパターン形成

著者名

平井, 智康

著者別名

ヒライ, トモヤス

学位授与大学

東京工業大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第7932号

学位授与年月日

2010-03-26

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000547700
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000549793
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 023314175
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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