One-step patterning utilizing directed self-assembly of POSS containing block copolymers POSS含有ブロック共重合体の自己組織化を利用したワンステップパターン形成
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著者
書誌事項
- タイトル
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One-step patterning utilizing directed self-assembly of POSS containing block copolymers
- タイトル別名
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POSS含有ブロック共重合体の自己組織化を利用したワンステップパターン形成
- 著者名
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平井, 智康
- 著者別名
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ヒライ, トモヤス
- 学位授与大学
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東京工業大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第7932号
- 学位授与年月日
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2010-03-26
注記・抄録
博士論文