One-step patterning utilizing directed self-assembly of POSS containing block copolymers POSS含有ブロック共重合体の自己組織化を利用したワンステップパターン形成

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Author

    • 平井, 智康 ヒライ, トモヤス

Bibliographic Information

Title

One-step patterning utilizing directed self-assembly of POSS containing block copolymers

Other Title

POSS含有ブロック共重合体の自己組織化を利用したワンステップパターン形成

Author

平井, 智康

Author(Another name)

ヒライ, トモヤス

University

東京工業大学

Types of degree

博士 (工学)

Grant ID

甲第7932号

Degree year

2010-03-26

Note and Description

博士論文

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000547700
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000549793
  • Text Lang
    • eng
  • NDLBibID
    • 023314175
  • Source
    • NDL ONLINE

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