ナノインデンテーション法を用いた薄膜基板間の界面強度評価
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Author
Bibliographic Information
- Title
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ナノインデンテーション法を用いた薄膜基板間の界面強度評価
- Author
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上月, 謙太郎
- Author(Another name)
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コウズキ, ケンタロウ
- University
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東京工業大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
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甲第7948号
- Degree year
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2010-03-26
Note and Description
博士論文
