極端紫外線領域に吸収端を有する物質を用いた多層膜光学素子の吸収端近傍における特性とその応用に関する研究 キョクタン シガイセン リョウイキ ニ キュウシュウタン オ ユウスル ブッシツ オ モチイタ タソウマク コウガク ソシ ノ キュウシュウタン キンボウ ニオケル トクセイ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
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Bibliographic Information
- Title
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極端紫外線領域に吸収端を有する物質を用いた多層膜光学素子の吸収端近傍における特性とその応用に関する研究
- Other Title
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キョクタン シガイセン リョウイキ ニ キュウシュウタン オ ユウスル ブッシツ オ モチイタ タソウマク コウガク ソシ ノ キュウシュウタン キンボウ ニオケル トクセイ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author
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永井, 宏明
- Author(Another name)
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ナガイ, コウメイ
- University
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大阪市立大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
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甲第3139号
- Degree year
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2011-03-31
Note and Description
博士論文
