塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化ケイ素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用
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Bibliographic Information
- Title
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塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化ケイ素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用
- Author
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纐纈, 英典
- Author(Another name)
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コウケツ, ヒデノリ
- University
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奈良先端科学技術大学院大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
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甲第1069号
- Degree year
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2012-03-23
Note and Description
博士論文
