A study on homo- and hetero-epitaxy of ZnO thin layers by halide vapor phase epitaxy ハライド気相成長法によるZnO薄膜成長に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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A study on homo- and hetero-epitaxy of ZnO thin layers by halide vapor phase epitaxy
- タイトル別名
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ハライド気相成長法によるZnO薄膜成長に関する研究
- 著者名
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増田, 塁
- 著者別名
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マスダ, ルイ
- 学位授与大学
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東京農工大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第756号
- 学位授与年月日
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2012-03-27
注記・抄録
博士論文