フラットパネル製造工程におけるデュアルチャネルシステムに基づく非接触配線検査手法 A non-contact circuit inspection method through dual channel system for flat panel manufacturing process

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著者

    • 羽森, 寛 ハモリ, ヒロシ

書誌事項

タイトル

フラットパネル製造工程におけるデュアルチャネルシステムに基づく非接触配線検査手法

タイトル別名

A non-contact circuit inspection method through dual channel system for flat panel manufacturing process

著者名

羽森, 寛

著者別名

ハモリ, ヒロシ

学位授与大学

広島大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第5810号

学位授与年月日

2012-03-23

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000561718
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000563932
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 023912014
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
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