Studies on 3C-SiC/Si epitaxial growth using monomethylsilane and its applications モノメチルシランを用いたSi基板上3C-SiC薄膜のエピタキシャル成長とその応用に関する研究

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著者

    • Rolando Vino Bantaculo ローランド ヴィーノ バンタクロ

書誌事項

タイトル

Studies on 3C-SiC/Si epitaxial growth using monomethylsilane and its applications

タイトル別名

モノメチルシランを用いたSi基板上3C-SiC薄膜のエピタキシャル成長とその応用に関する研究

著者名

Rolando Vino Bantaculo

著者別名

ローランド ヴィーノ バンタクロ

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第14271号

学位授与年月日

2011-09-14

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000563293
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000565514
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 024012404
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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