シリコン結晶成長におけるゲルマニウム添加による微小欠陥および界面形状の制御に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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シリコン結晶成長におけるゲルマニウム添加による微小欠陥および界面形状の制御に関する研究
- 著者名
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後藤, 頼良
- 著者別名
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ゴトウ, ライラ
- 学位授与大学
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東北大学
- 取得学位
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博士 (理学)
- 学位授与番号
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甲第14389号
- 学位授与年月日
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2012-03-27
注記・抄録
博士論文
シリコン結晶成長におけるゲルマニウム添加による微小欠陥および界面形状の制御に関する研究
後藤, 頼良
ゴトウ, ライラ
東北大学
博士 (理学)
甲第14389号
2012-03-27
博士論文