Research on high density DRAM cell technologies with three dimensional device structures 3次元構造化による高密度DRAMセル技術に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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Research on high density DRAM cell technologies with three dimensional device structures
- タイトル別名
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3次元構造化による高密度DRAMセル技術に関する研究
- 著者名
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則房, 勇人
- 著者別名
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ノリフサ, ユウト
- 学位授与大学
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東北大学
- 取得学位
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博士 (工学)
- 学位授与番号
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甲第14615号
- 学位授与年月日
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2012-03-27
注記・抄録
博士論文