三次元構造トランジスタの不純物プロファイル測定方法とモデリングに関する研究

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著者

    • 泉田, 貴士 イズミダ, タカシ

書誌事項

タイトル

三次元構造トランジスタの不純物プロファイル測定方法とモデリングに関する研究

著者名

泉田, 貴士

著者別名

イズミダ, タカシ

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第14699号

学位授与年月日

2012-03-27

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000563728
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000565949
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 024021486
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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