Growth behavior and diffusion barrier reliability of manganese oxide formed by chemical vapor deposition 化学気相成長法によるマンガン酸化物の成長挙動と拡散バリア信頼性

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著者

    • Mai Phuong Nguyen マイ フォン ヌエン

書誌事項

タイトル

Growth behavior and diffusion barrier reliability of manganese oxide formed by chemical vapor deposition

タイトル別名

化学気相成長法によるマンガン酸化物の成長挙動と拡散バリア信頼性

著者名

Mai Phuong Nguyen

著者別名

マイ フォン ヌエン

学位授与大学

東北大学

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

甲第14665号

学位授与年月日

2012-03-27

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000563792
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000566013
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 024022330
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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