Growth behavior and diffusion barrier reliability of manganese oxide formed by chemical vapor deposition 化学気相成長法によるマンガン酸化物の成長挙動と拡散バリア信頼性
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Author
Bibliographic Information
- Title
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Growth behavior and diffusion barrier reliability of manganese oxide formed by chemical vapor deposition
- Other Title
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化学気相成長法によるマンガン酸化物の成長挙動と拡散バリア信頼性
- Author
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Mai Phuong Nguyen
- Author(Another name)
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マイ フォン ヌエン
- University
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東北大学
- Types of degree
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博士 (工学)
- Grant ID
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甲第14665号
- Degree year
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2012-03-27
Note and Description
博士論文