誘導結合型Ar,O₂/ArプラズマのE-H遷移過程の時空間分解分光診断

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著者

    • 林, 雄一郎 ハヤシ, ユウイチロウ

書誌事項

タイトル

誘導結合型Ar,O₂/ArプラズマのE-H遷移過程の時空間分解分光診断

著者名

林, 雄一郎

著者別名

ハヤシ, ユウイチロウ

学位授与大学

慶應義塾大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第3743号

学位授与年月日

2012-09-21

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000564974
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000567218
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 024078523
  • データ提供元
    • NDL-OPAC
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