誘導結合型Ar,O₂/ArプラズマのE-H遷移過程の時空間分解分光診断

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Author

    • 林, 雄一郎 ハヤシ, ユウイチロウ

Bibliographic Information

Title

誘導結合型Ar,O₂/ArプラズマのE-H遷移過程の時空間分解分光診断

Author

林, 雄一郎

Author(Another name)

ハヤシ, ユウイチロウ

University

慶應義塾大学

Types of degree

博士(工学)

Grant ID

甲第3743号

Degree year

2012-09-21

Note and Description

博士論文

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000564974
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000567218
  • Text Lang
    • jpn
  • NDLBibID
    • 024078523
  • Source
    • NDL ONLINE

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