LSIにおける最先端Cu配線へ適用可能なナノ結晶バリヤ膜の作製方法に関する研究

この論文をさがす

著者

    • 佐藤, 勝 サトウ, マサル

書誌事項

タイトル

LSIにおける最先端Cu配線へ適用可能なナノ結晶バリヤ膜の作製方法に関する研究

著者名

佐藤, 勝

著者別名

サトウ, マサル

学位授与大学

北見工業大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第115号

学位授与年月日

2012-03-21

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000570307
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000572592
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 024444435
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
ページトップへ