重水素添加スパッタリング法を用いた低温製膜ITOの格子欠陥と電子物性に関する研究

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著者

    • 羅, 蘇寧 ラ, ソネイ

書誌事項

タイトル

重水素添加スパッタリング法を用いた低温製膜ITOの格子欠陥と電子物性に関する研究

著者名

羅, 蘇寧

著者別名

ラ, ソネイ

学位授与大学

九州工業大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

工博乙第94号

学位授与年月日

2011-03-25

注記・抄録

博士論文

九州工業大学博士学位論文(要旨) 学位記番号:工博乙第94号 学位授与年月日:平成23年3月25日

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000570338
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000572625
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 024444857
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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