重水素添加スパッタリング法を用いた低温製膜ITOの格子欠陥と電子物性に関する研究
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Bibliographic Information
- Title
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重水素添加スパッタリング法を用いた低温製膜ITOの格子欠陥と電子物性に関する研究
- Author
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羅, 蘇寧
- Author(Another name)
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ラ, ソネイ
- University
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九州工業大学
- Types of degree
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博士(工学)
- Grant ID
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工博乙第94号
- Degree year
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2011-03-25
Note and Description
博士論文
九州工業大学博士学位論文（要旨） 学位記番号:工博乙第94号 学位授与年月日:平成23年3月25日
