Fabrication of IDT/AlN/DLC/Si structured SAW device by pulsed laser deposition パルスレーザーデポジションによるIDT/AlN/DLC/Si構造の表面弾性波素子の作製

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著者

    • 王, 植平 オウ, ショクヘイ

書誌事項

タイトル

Fabrication of IDT/AlN/DLC/Si structured SAW device by pulsed laser deposition

タイトル別名

パルスレーザーデポジションによるIDT/AlN/DLC/Si構造の表面弾性波素子の作製

著者名

王, 植平

著者別名

オウ, ショクヘイ

学位授与大学

富山大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

理工博甲第41号

学位授与年月日

2012-03-23

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000570463
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000572751
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 024456545
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
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