高性能ITOターゲットの開発 Development of high performance ITO target

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著者

    • 髙橋, 誠一郎 タカハシ, セイイチロウ

書誌事項

タイトル

高性能ITOターゲットの開発

タイトル別名

Development of high performance ITO target

著者名

髙橋, 誠一郎

著者別名

タカハシ, セイイチロウ

学位授与大学

山口大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

理工博甲第570号

学位授与年月日

2011-11-16

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000571333
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000573634
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 024582496
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
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