準安定状態窒素分子の診断およびプラズマプロセシングにおける役割 Diagnostics of metastable-state molecular nitrogen and its role to plasma processing
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書誌事項
- タイトル
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準安定状態窒素分子の診断およびプラズマプロセシングにおける役割
- タイトル別名
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Diagnostics of metastable-state molecular nitrogen and its role to plasma processing
- 著者名
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堀川, 佳峰
- 著者別名
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ホリカワ, ヨシミネ
- 学位授与大学
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北海道大学
- 取得学位
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博士(工学)
- 学位授与番号
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甲第11007号
- 学位授与年月日
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2013-03-25
注記・抄録
博士論文