Fundamental study on wide-bandgap-semiconductor MEMS and photodetectors for integrated smart sensors 高機能集積センサ実現に向けたワイドギャップ半導体MEMSおよび光検出器の基礎研究

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著者

    • 渡辺, 直樹 ワタナベ, ナオキ

書誌事項

タイトル

Fundamental study on wide-bandgap-semiconductor MEMS and photodetectors for integrated smart sensors

タイトル別名

高機能集積センサ実現に向けたワイドギャップ半導体MEMSおよび光検出器の基礎研究

著者名

渡辺, 直樹

著者別名

ワタナベ, ナオキ

学位授与大学

京都大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第17578号

学位授与年月日

2013-03-25

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000572599
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000574910
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 024652541
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
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