Control of interfacial structures and electrical properties of metal/high-permittivity-rare-earth-oxide/Ge gate stack structures 金属/高誘電率希土類酸化物/Geゲートスタック構造の界面構造および電子物性制御
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著者
書誌事項
- タイトル
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Control of interfacial structures and electrical properties of metal/high-permittivity-rare-earth-oxide/Ge gate stack structures
- タイトル別名
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金属/高誘電率希土類酸化物/Geゲートスタック構造の界面構造および電子物性制御
- 著者名
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加藤, 公彦
- 著者別名
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カトウ, キミヒコ
- 学位授与大学
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名古屋大学
- 取得学位
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博士(工学)
- 学位授与番号
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甲第10172号
- 学位授与年月日
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2013-03-25
注記・抄録
博士論文