Electrochemical micromachining of silicon-based materials using fine needle electrodes 微細電極を用いたシリコン系材料の電気化学的微細加工

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著者

    • 杉田, 智彦 スギタ, トモヒコ

書誌事項

タイトル

Electrochemical micromachining of silicon-based materials using fine needle electrodes

タイトル別名

微細電極を用いたシリコン系材料の電気化学的微細加工

著者名

杉田, 智彦

著者別名

スギタ, トモヒコ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第16305号

学位授与年月日

2013-03-25

注記・抄録

博士論文

14401甲第16305号

博士(工学)

大阪大学

2013-03-25

26091

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000573694
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000576015
  • 本文言語コード
    • eng
  • NDL書誌ID
    • 024703768
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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