Clarification of nano-meter-scale surface-layer reaction mechanisms in plasma etching processes プラズマエッチングにおけるナノメートル表面層反応機構の解明
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著者
書誌事項
- タイトル
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Clarification of nano-meter-scale surface-layer reaction mechanisms in plasma etching processes
- タイトル別名
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プラズマエッチングにおけるナノメートル表面層反応機構の解明
- 著者名
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伊藤, 智子
- 著者別名
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イトウ, トモコ
- 学位授与大学
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大阪大学
- 取得学位
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博士(工学)
- 学位授与番号
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甲第16421号
- 学位授与年月日
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2013-03-25
注記・抄録
博士論文
