質量分離イオンビーム装置によるプラズマディスプレイパネル(PDP)セル保護膜のスパッタ解析

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著者

    • 幾世, 和将 イクセ, カズマサ

書誌事項

タイトル

質量分離イオンビーム装置によるプラズマディスプレイパネル(PDP)セル保護膜のスパッタ解析

著者名

幾世, 和将

著者別名

イクセ, カズマサ

学位授与大学

大阪大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第16427号

学位授与年月日

2013-03-25

注記・抄録

博士論文

14401甲第16427号

博士(工学)

大阪大学

2013-03-25

26213

0アクセス

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000573949
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000576271
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 024710065
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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