MEMS技術を応用した水晶高感度傾斜角センサの最適設計・製造プロセスの研究

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著者

    • 幸坂, 扶佐夫 コウサカ, フサオ

書誌事項

タイトル

MEMS技術を応用した水晶高感度傾斜角センサの最適設計・製造プロセスの研究

著者名

幸坂, 扶佐夫

著者別名

コウサカ, フサオ

学位授与大学

早稲田大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第3790号

学位授与年月日

2013-02-18

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000574499
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000576827
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 024801716
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
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