ステップアンドリピートUVナノインプリント法を用いた大面積ナノ構造体作製に関する研究 Large-scale nano structure fabrication by step and repeat UV nanoimprint lithography

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著者

    • 石橋, 健太郎 イシバシ, ケンタロウ

書誌事項

タイトル

ステップアンドリピートUVナノインプリント法を用いた大面積ナノ構造体作製に関する研究

タイトル別名

Large-scale nano structure fabrication by step and repeat UV nanoimprint lithography

著者名

石橋, 健太郎

著者別名

イシバシ, ケンタロウ

学位授与大学

早稲田大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第3950号

学位授与年月日

2013-03-15

注記・抄録

博士論文

制度:新 ; 報告番号:甲3950号 ; 学位の種類:博士(工学) ; 授与年月日:2013/3/15 ; 主論文の冊数:1 ; 早大学位記番号:新6322

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000574750
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000577081
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 024807306
  • データ提供元
    • 機関リポジトリ
    • NDL ONLINE
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