Si(100)基板上リン化ホウ素の結晶構造と電気的特性
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Author
Bibliographic Information
- Title
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Si(100)基板上リン化ホウ素の結晶構造と電気的特性
- Author
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伊野, 裕司
- Author(Another name)
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イノ, ユウジ
- University
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慶應義塾大学
- Types of degree
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博士(工学)
- Grant ID
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甲第3885号
- Degree year
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2013-03-23
Note and Description
博士論文