3次元サブマイクロ・ナノ機械加工システムとそれを用いた硬脆性材料の高精度加工に関する研究

この論文をさがす

著者

    • 中元, 一雄 ナカモト, カズオ

書誌事項

タイトル

3次元サブマイクロ・ナノ機械加工システムとそれを用いた硬脆性材料の高精度加工に関する研究

著者名

中元, 一雄

著者別名

ナカモト, カズオ

学位授与大学

慶應義塾大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第3802号

学位授与年月日

2013-02-01

注記・抄録

博士論文

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    500000574985
  • NII著者ID(NRID)
    • 8000000577317
  • 本文言語コード
    • jpn
  • NDL書誌ID
    • 024809317
  • データ提供元
    • NDL ONLINE
ページトップへ