An experimental study of MEMS mirror actuation for two-dimensional laser beam steering 2次元光偏向MEMSミラーの駆動に関する実験的研究

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Author

    • 井関, 隆之 イセキ, タカユキ

Bibliographic Information

Title

An experimental study of MEMS mirror actuation for two-dimensional laser beam steering

Other Title

2次元光偏向MEMSミラーの駆動に関する実験的研究

Author

井関, 隆之

Author(Another name)

イセキ, タカユキ

University

東京工業大学

Types of degree

博士(工学)

Grant ID

甲第8962号

Degree year

2012-09-25

Note and Description

博士論文

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    500000580304
  • NII Author ID (NRID)
    • 8000000582676
  • Text Lang
    • eng
  • NDLBibID
    • 025013237
  • Source
    • NDL ONLINE

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