バイポーラPBII&D法によるDLC膜の三次元作成およびプラズマ挙動解析に関する研究
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著者
書誌事項
- タイトル
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バイポーラPBII&D法によるDLC膜の三次元作成およびプラズマ挙動解析に関する研究
- 著者名
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朴, 元淳
- 学位授与大学
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University of Tokyo(東京大学)
- 取得学位
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博士(工学)
- 学位授与番号
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甲第30050号
- 学位授与年月日
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2014-03-14
注記・抄録
収集根拠 : 博士論文（自動収集）
資料形態 : テキストデータ
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
学位の種別:課程博士
審査委員会委員 : （主査）東京大学准教授 崔 埈豪, 東京大学教授 加藤 孝久, 東京大学教授 高木 周, 東京大学准教授 ドロネー ジャン ジャック, 東京大学准教授 三宅 晃司, 名古屋大学准教授 上坂 裕之
目次
- 2020-01-15 再収集
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