精密位置決めステージにおける弾性構造物に対する相対位置決め制御に関する研究 A study on relative positioning control for elastic structure of precise positioning stage system
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著者
書誌事項
- タイトル
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精密位置決めステージにおける弾性構造物に対する相対位置決め制御に関する研究
- タイトル別名
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A study on relative positioning control for elastic structure of precise positioning stage system
- 著者名
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小川, 博紀
- 学位授与大学
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北海道大学
- 取得学位
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博士(工学)
- 学位授与番号
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甲第14435号
- 学位授与年月日
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2021-03-25
注記・抄録
収集根拠 : 博士論文（自動収集）
資料形態 : テキストデータ
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
(主査) 准教授 江丸 貴紀, 教授 梶原 逸朗, 教授 佐々木 克彦, 客員教授 小林 幸徳 (苫小牧工業高等専門学校)
工学院（人間機械システムデザイン専攻）
