オゾンを用いた環境に優しいレジスト除去に関する研究 オゾン ヲ モチイタ カンキョウ ニ ヤサシイ レジスト ジョキョ ニ カンスル ケンキュウ
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著者
書誌事項
- タイトル
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オゾンを用いた環境に優しいレジスト除去に関する研究
- タイトル別名
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オゾン ヲ モチイタ カンキョウ ニ ヤサシイ レジスト ジョキョ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者名
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後藤, 洋介
- 学位授与大学
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金沢工業大学
- 取得学位
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博士(理工学)
- 学位授与番号
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甲第96号
- 学位授与年月日
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2014-03-17
注記・抄録
収集根拠 : 博士論文（自動収集）
資料形態 : テキストデータ
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
type:学位論文;Thesis or Dissertation
薬液フリーで環境に優しく、かつ低温プロセスである湿潤オゾンの実用化に向けた知見を得るために湿潤オゾン照射最適条件の検討、湿潤オゾンによるレジスト除去が適用可能な範囲(化学構造、イオン種、イオン注入量、加速エネルギー)を解明した。その結果、主鎖または側鎖にベンゼン環を持つポリマーは湿潤オゾンによる除去が可能であり、実プロセスに近い3keVの加速エネルギーで高イオン注入量(1×10^15 /cm^2)のi線用レジスト、KrFエキシマレーザー用レジストも3keV程度であれば湿潤オゾンを用いて除去できることを解明した。
identifier:20141016001
目次
- 2017-10-04 再収集
